等离子体是种电离气体。它的英文名字是plasma。它由Muir在1927年研究低压汞蒸气的排放现象时命名。等离子体由大量电子，中性原子，激发原子，光子和自由基组成。但是，电子和正离子的电荷数必须是中性的，这就是“等离子体”的含义。等离子体在传导和受电磁影响的许多方面与固体，液体和气体不同，因此被称为物质的第四态。根据状态，温度和离子密度，等离子体可分为高温等离子体和低温等离子体。其中，高温等离子体的电离度接近于1，各种粒子几乎相同温度的系统处于热力学平衡状态。它主要用于受控热核反应的研究。但是，低温等离子体是不平衡的，并且各种颗粒的温度也不相同。电子温度（TE）≥离子温度（TI）可以达到104k以上，而离子和中性粒子的温度可以低至300-500k。般的气体发射器属于低温等离子体。

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在光催化模块中，253.7nm波段的光用于切割、破碎、燃烧和裂解废气分子链，改变分子结构，这是次处理；185nm波段的光用于催化废气分子的氧化，使被破坏的分子中子或原子与O3结合，使有机或无机大分子气味化合物的分子链在催化氧化过程中可转化为低分子化合物CO2、H2O等，是二次处理；

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光催化氧化技术是通过光激发氧化将O2、H2O2和光辐射等氧化剂结合起来。使用的光主要是紫外线，包括UV-H2O2、UV-o2等过程，可用于处理污水中的CHCl3、CCl4、多氯联苯等难降解物质。此外，在紫外光作用下的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在协同作用，大大加快了H2O2分解生成羟基自由基的速度，促进了有机物的氧化去除。山东亚特环保科技有限公司应用于工业废气处理的紫外波长为154nm-254nm，波长越短，能量越大。在这个区域，由于154nm-185nm的波长相对较短，因此“杀戮”的空间范围也较小。虽然185nm-254nm波长较长，但杀伤空间相对较大。